Genre:electronics
Language:Russian
Type:PDF book
Publisher:МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Publication date:04.03.2024
Price:$2.16
Views:15
Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).