Проведение научных экспериментов в наноинженерии

Вадим Шахнов и Владимир Соловьев

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).