Юрий Цветков and Ю. Боброва
Genre:physics
Language:Russian
Type:PDF book
Publisher:МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Publication date:23.09.2023
Price:$1.54
Views:53
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.