Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум, аудиокнига . ISDN69374368
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Юрий Цветков и Ю. Боброва

Жанр:физика

Язык книги:Русский

Тип:PDF книга

Издательство:МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский...

Дата публикации:23.09.2023

Просмотры:52

Отзывы:Пока нет Добавить отзыв

О книге: Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
  • Добавить отзыв

Другие книги автора

С этой книгой также читают