Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Юрий Цветков и Ю. Боброва
Жанр:физика
Язык книги:Русский
Тип:PDF книга
Издательство:МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский...
Дата публикации:23.09.2023
Просмотры:52
Отзывы:Пока нет Добавить отзыв
О книге: Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.