Ионная и фотонная обработка материалов
Станислав Константинов и Фадей Комаров
Жанр:прочая образовательная литература
Язык книги:Русский
Тип:PDF книга
Издательство:Вышэйшая школа
Дата публикации:28.03.2024
Просмотры:28
Отзывы:Пока нет Добавить отзыв
О книге: Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.