Ионная и фотонная обработка материалов

Ионная и фотонная обработка материалов, аудиокнига Станислава Константинова. ISDN68322713
Ионная и фотонная обработка материалов

Станислав Константинов и Фадей Комаров

Жанр:прочая образовательная литература

Язык книги:Русский

Тип:PDF книга

Издательство:Вышэйшая школа

Дата публикации:28.03.2024

Просмотры:28

Отзывы:Пока нет Добавить отзыв

О книге: Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
  • Добавить отзыв

С этой книгой также читают