Silicon Technologies. Ion Implantation and Thermal Treatment
Annie Baudrant
Жанр:электроника
Язык книги:Английский
Тип:PDF книга
Издательство:John Wiley & Sons Limited
Дата публикации:08.12.2022
Просмотры:70
Отзывы:Пока нет Добавить отзыв
О книге: The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.